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1月5日光刻机（胶）板块较上一交易日上涨0.78%，炬光科技领涨。当日上证指数报收于3155.22，上涨1.01%。深证成指报收于11332.01，上涨2.13%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：

从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流入1.08亿元，游资资金净流出1.05亿元，散户资金净流出276.22万元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：

北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为21.78亿元，增持0.36亿元。其中增持最多的是新莱应材，增持了0.24亿元。减持持最多的是万业企业，减持了0.1亿元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：